step-and-repeat aligner перевод

• установка совмещения и пошагового экспонирования

• step-and-repeat:    фотосборочный - step-and-repeat antenna - step-and-repeat machine
• direct-step-onto-wafer aligner:    мультипликатор на пластину, установка совмещения и мультипликации на пластину
• step ana repeat process:    пошаговое мультиплицирование